KLA ist ein amerikanisches Unternehmen aus Milpitas in Kalifornien, das Anlagen zur Prüfung und Vermessung in der Chipfertigung baut. Entstanden ist es 1997 aus dem Zusammenschluss von KLA Instruments und Tencor Instruments; bis 2019 hieß es KLA-Tencor. Geführt wird es seit 2006 von Rick Wallace. Ob ein Wafer taugt, aus dem Beschleuniger für KI-Modelle werden, zeigt sich in diesen Anlagen.
- KLA
Der Anbieter der Anlagen, mit denen Chips während der Fertigung geprüft werden.
Beispiel: „Zwischen zwei Fertigungsschritten läuft der Wafer durch eine Anlage von KLA, die nachsieht, ob der vorige Schritt gelungen ist.“Der Fachausdruck dafür ist Prozesskontrolle. Sie umfasst zweierlei: das Suchen nach Fehlstellen und das Messen von Schichtdicken und Strukturbreiten.
Abgrenzung zum Anlagenbauer: Eine Anlage von Applied Materials verändert den Wafer. Eine Anlage von KLA sieht ihn nur an.
Warum eine Anlage von KLA mitten in der Fertigung steht
Weil ein Fehler in einer frühen Schicht alle späteren Schritte wertlos macht. Wer ihn erst am fertigen Chip findet, hat Wochen Fertigung für ein Stück aufgewendet, das nie funktioniert hätte.
Deshalb sitzen die Prüfschritte mitten in der Kette. Je früher eine Abweichung auffällt, desto eher lässt sich die Anlage nachstellen, die sie verursacht hat.
Warum die Ausbeute über die Kosten entscheidet
Weil ein Werk pro Wafer bezahlt wird und nicht pro brauchbarem Chip. Der Anteil der Chips, die am Ende funktionieren, heißt Ausbeute, und er bestimmt, was ein einzelner Chip wirklich kostet.
Bei sehr großen Chips verschärft sich das. Je mehr Fläche ein einzelner Chip belegt, desto wahrscheinlicher erwischt ihn eine der Fehlstellen, die statistisch über den Wafer verteilt sind.
Was die KI-Chips daran schwieriger machen
Ihre Größe. Beschleuniger und Entwürfe wie die von Taalas gehen bis nahe an das, was sich in einem Stück belichten lässt, und auf solchen Flächen schlägt jede Fehlstelle voll durch.
Dazu kommen die gestapelten Bauweisen. Wo mehrere Lagen übereinanderliegen, muss jede für sich stimmen, bevor die nächste daraufkommt.