Lam Research ist ein amerikanisches Unternehmen aus Fremont in Kalifornien, das Anlagen für die Chipfertigung baut. Gegründet wurde es 1980 von David Lam; geführt wird es seit Dezember 2018 von Tim Archer. Die Speicherbausteine, die neben einem KI-Beschleuniger sitzen, entstehen zu großen Teilen in solchen Anlagen.
- Lam Research
Der Anlagenbauer mit dem Schwerpunkt auf dem Abtragen und Aufbringen von Schichten.
Beispiel: „Die Gräben und Löcher, aus denen eine Schaltung besteht, entstehen in Anlagen von Lam Research.“Das Abtragen heißt Ätzen. Ein Gas greift die Stellen an, die vorher freigelegt wurden, und arbeitet die Struktur in die Tiefe.
Abgrenzung zu Applied Materials: Beide bauen Anlagen für dieselben Arten von Schritten. Lam Research deckt eine schmalere Auswahl ab und steht beim Ätzen besonders stark.
Was Ätzen in der Chipfertigung bedeutet
Das Gegenstück zum Beschichten. Erst kommt eine Schicht auf den Wafer, dann wird belichtet, welche Teile davon stehen bleiben sollen, und anschließend trägt das Ätzen den Rest ab.
Die Schwierigkeit liegt in der Tiefe. Ein Loch, das vielfach tiefer als breit ist, muss senkrecht hinuntergehen und unten genauso breit ankommen wie oben, sonst sitzt die Verbindung schief.
Warum der Speicherausbau das Geschäft von Lam Research trägt
Weil Speicher in die Höhe gebaut wird. Die Zellen liegen in vielen Lagen übereinander, und die Verbindungen dazwischen entstehen durch sehr tiefe, sehr schmale Löcher.
Dasselbe gilt für gestapelte Speicherchips, wie sie neben KI-Beschleunigern sitzen. Auch sie sind senkrecht durchkontaktiert, und jede dieser Durchführungen ist geätzt.
Warum sich die Anbieter überschneiden
Weil kein Werk sich auf einen Lieferanten festlegt. Für die meisten Schritte gibt es mehr als eine Anlage, und welche gewählt wird, entscheidet sich am einzelnen Prozess.
Deshalb stehen in einem Werk Anlagen mehrerer Hersteller nebeneinander, oft für vergleichbare Aufgaben. Die Ausnahme bleibt die Belichtung, bei der es für die feinsten Strukturen nur einen Anbieter gibt.